比如通过测量钢体材料作为样品,使用肉眼可以自己看到表面有一些细微的小黑点,假使我们应该采用金相显微镜观察,即使放大到最大的倍数,只能观察到有黑色区域,很难去区分黑点的形态。我们主要采用激光扫描共聚焦显微镜对此处缺陷问题进行数据测量方法观察。首先采用传统普通光源观察黑色小点,将黑色小点移动至观察生活区域,再将光源转换到激光部分,利用激光对缺陷导致部分内容进行深度方向的逐层扫描,得到控制缺陷处的三维形貌特征信息。结果也是显而易见。很明显黑色斑点是由一些小坑构成的。在经过坑的部位画一条测量线,如测量工作结果统计报告图所示,测量线的高度相关信息如图所示坑的沿着测量线方向的最大宽度、最大经济深度等信息管理一目了然。当然同时还可以对社会其他有需要的缺陷处的多处尺寸分别代表进行教育测量。分析模型可知对于这些黑色的小斑点应该是钢材生产加工处理过程中有异物压入或者腐蚀留下的痕迹。
在缺陷分析过程中,激光共焦显微镜充分发挥了其在三维形貌测量中的优势。当普通光学显微镜无法分辨高度方向的信息时,它填补了这一空白,对其微观形貌进行三维分析,获得整个观察区域的三维坐标,对金属材料表面黑色缺陷的来源分析起到关键作用。激光扫描共焦显微镜技术已经发展得比较成熟,并在很多领域得到了广泛的应用。在金属材料的显微观察中,激光扫描共聚焦显微镜有很多优点。它在分辨率和清晰度方面优于普通光学显微镜。对样品和测试环境要求低,操作方便快捷,无损检测;可以扫描空间的三维形貌,直观显示被观察物体的三维形貌;可以测量体积、面积、颗粒、薄膜厚度、深度、长度和宽度、线粗糙度、表面粗糙度等表面形貌信息。因此,激光扫描共聚焦显微镜在金属材料的研究和开发中,尤其是在微观组织和形貌的观察中,具有非常广阔的应用前景。
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